非平衡励起反応場による酸化亜鉛薄膜の非加熱形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM21006

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2021/11/15

タイトル(英語): Nonthermal crystal bridging of ZnO grains by irradiation with electron beam as nonequilibrium reaction field

著者名: 下位 法弘(東北工業大学)

著者名(英語): Norihiro Shimoi(Tohoku Institute of Technology)

キーワード: 非平衡励起反応場|電界電子放出|ナノ粒子|高結晶性単層カーボンナノチューブ|酸化亜鉛|非加熱形成|non-equilibrium reaction field|field emission|nano scaled particle|highly crystalline single-walled carbon nanotube|zinc oxide|nonthermal crystal bridging

要約(日本語): 平面内で均一に電界電子放出する電子線束をボトムアップ型アーキテクチャーとした非平衡励起反応場に着目し、酸化物粒子を構成する原子・分子集団を動かし非加熱で2次元かつシンプルなプロセスで薄膜型ナノコンポジット構造を創成する基礎技術確立に成功した。金属酸化物粒子の接合時に起こる界面現象および架橋メカニズムを解明し，フィルム基板に非加熱で形成した酸化亜鉛薄膜の界面物理特性などの諸特性を紹介する。

要約(英語): In this work, we successfully obtained the basic technology for a ceramic thin-film fabrication using a field emission (FE) electron beam that had a homogeneous planar electron emission as nonequilibrium reaction field. This accomplishment may make a significant contribution to the analysis of the formation mechanism of ZnO particles with a uniform morphology and crystal structure by FE electron beam without thermal treatment during the fabrication. Moreover, we will be able to provide basic elements for next-generation nanodevices with highly functional properties by controlling each terminal crystal interface of metals, ceramics, and semiconductors with this technique.

本誌: 2021年11月18日-2021年11月19日電子材料研究会-1

本誌掲載ページ: 17-22 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,144 Kバイト