COP基板上に形成した酸化亜鉛系薄膜の繰り返し曲げ耐久性評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM21011

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2021/11/15

タイトル(英語): Evaluation of Repeated Bending Durability of ZnO Oxide Thin Films Deposited on COP Substrates

著者名: 大浦 紀頼(大阪工業大学),和田 英男(大阪工業大学),小山 政俊(大阪工業大学),前元 利彦(大阪工業大学),佐々 誠彦(大阪工業大学)

著者名(英語): Kazuyori Oura(Osaka Institute of Technology),Hideo Wada(Osaka Institute of Technology),Masatoshi Koyama(Osaka Institute of Technology),Toshihiko Maemoto(Osaka Institute of Technology),Shigehiko Sasa(Osaka Institute of Technology)

キーワード: フレキシブルデバイス|ＺｎＯ|ＣＯＰ|繰り返し曲げ耐久性|Flexible device|ZnO| COP|Repeated bending durability

要約(日本語): シクロオレフィンポリマー（COP）を基板として酸化亜鉛系薄膜を形成し，10,000回の繰り返し曲げに対する耐性を表面観察と2端子抵抗測定を用いて評価した．COP基板の厚みを薄くするにしたがい，SiO2バッファ層のクラックの発生が抑制され，耐屈曲性が向上した．また，COP基板の厚みが50μmのとき，2端子抵抗の変動が殆ど無く，10,000 回までの耐久性を持つ酸化物薄膜デバイスの作製に成功した．

要約(英語): Zinc oxide thin films were formed on cyclo-olefin polymer (COP) substrates. A bending strength to 10,000 cycles of bending was evaluated using a surface observation and a two-terminal resistance measurement. As a thickness of a COP substrate was reduced, cracks of a SiO2 buffer layer were suppressed and the bending strength was improved. When the thickness of the COP substrate was 50 μm, there was almost no fluctuation in the two-terminal resistance, and we have succeeded in fabricating oxide thin-film devices with durability up to 10,000 cycles.

本誌: 2021年11月18日-2021年11月19日電子材料研究会-1

本誌掲載ページ: 37-40 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 764 Kバイト