溶液塗布熱分解法による三酸化タングステン薄膜の作製と高感度pHセンサーへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM21013

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2021/11/15

タイトル(英語): Fabrication of tungsten trioxide films by a chemical solution deposition method and its application to the high-sensitivity pH sensors

著者名: 牧野 賀成(大阪工業大学),半井 万尋(大阪工業大学),太田 剛志(大阪工業大学),道端 涼(大阪工業大学),平木 健太(大阪工業大学),広藤 裕一(大阪工業大学),廣芝 伸哉(大阪工業大学),小池 一歩(大阪工業大学)

著者名(英語): Kanaru Makino(Osaka Institute of Technology),Mahiro Hani(Osaka Institute of Technology),Tsuyoshi Ota(Osaka Institute of Technology),Ryo Michibata(Osaka Institute of Technology),Kenta Hiraki(Osaka Institute of Technology),Yuichi Hirohuji(Osaka Institute of

キーワード: 三酸化タングステン|溶液塗布熱分解法|ｐＨセンサー|tungsten trioxide|chemical solution deposition method|pH sensor

要約(日本語): 我々は，メタタングステン酸アンモニウムとポリビニルアルコールの混合水溶液を用いた溶液塗布熱分解法で，Tiコートしたガラス基板に酸化タングステン薄膜を作製した．作製した薄膜を拡張ゲートFETのイオン感応膜として適用し，pHセンサーとしての性能を評価した．その結果，島状ナノ構造の表面を有する薄膜の場合，ネルンスト限界（59mV/pH）を超える約80mV/pHの高い感度を示すことが判った．

要約(英語): We prepared tungsten trioxide films on a Ti-coated glass substrate by a chemical solution deposition method using an aqueous mixture solution of ammonium metatungstate hydrate and poly-vinyl alcohol. The films were tested as a sensitive membrane of extended-gate FET-type pH sensor. We found that the film with nanostructured surface can be useful for the improvement in pH sensitivity due to the large specific surface area. The typical pH sensitivity was ~80 mV/pH. This value is larger than the ideal Nernstian response to the proton density in an equilibrium electrolyte, which is 59 mV/pH.

本誌: 2021年11月18日-2021年11月19日電子材料研究会-1

本誌掲載ページ: 43-44 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 411 Kバイト