超短パルスレーザーを用いた新奇ナノ周期構造の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM21020

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2021/11/15

タイトル(英語): Fabrication of novel nanostructure in lattice by ultrashort pulse laser

著者名: 中田 芳樹(大阪大学),白神 宏之(大阪大学)

著者名(英語): Yoshiki Nakata(Osaka University),Hiroyuki Shiraga(Osaka University)

キーワード: 超短パルスレーザー|干渉パターン|ナノ構造|ナノウィスカー|ナノドロップ|レーザープロセシング|ultrashort pulse laser|interference pattern|nano structure|nanowhisker|nanodrop|laser processing

要約(日本語): ナノ構造はプラズモニクスを始め様々な分野で用いられており、その作製方法が模索されているが、その一つにフェムト秒レーザー加工法がある。本講演では、フェムト秒レーザー干渉パターン加工法と、金属薄膜を加工した場合に形成される独特のナノ形状を紹介する。加工条件を変えることで、ナノバンプ、ナノドロップ、ナノウィスカー、多重周期構造などがシングルプロセスで形成される。さらに、レーザー誘起転写法と組み合わせる事で、ナノサイズドットの正方格子配列した結果などを紹介する。

要約(英語): Nanostructures are used in various fields including plasmonics, and methods for their fabrication are being explored, one of which is femtosecond laser processing. In this talk, I will introduce the femtosecond laser interference pattern fabrication method and the unique nanostructures formed when metal thin films are processed. By varying the processing conditions, nanobumps, nanodrops, nanowhiskers, and multiple periodic structures can be formed in a single process. In addition, we will show the results of square lattice arrays of nanosized dots in combination with laser-induced transfer methods.

本誌: 2021年11月18日-2021年11月19日電子材料研究会-2

本誌掲載ページ: 11-16 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,790 Kバイト