パルスレーザーアブレーション過程で形成された球状サブミクロン粒子の慣性インパクターを用いた収集

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM21030

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2021/11/27

タイトル(英語): Collection of spherical submicron particles formed during pulsed laser ablation process using an inertial impactor.

著者名: 伊東 佑真(甲南大学),吉田 岳人(阿南工業高等専門学校),青木 珠緒(甲南大学),梅津 郁朗(甲南大学)

著者名(英語): Ito Yuma(Konan University),Yoshida Takehito(National Institution of Technology, Anan College),Aoki Tamao(Konan University),Umezu Ikurou(Konan University)

キーワード: 慣性インパクター|ナノ粒子|サブミクロン粒子|レーザーアブレーション|inertial impactor|nano particles|submicron particles|laser ablation

要約(日本語): 雰囲気ガス中でレーザーアブレーションを行うとナノ粒子が発生することはよく知られている。本研究では慣性インパクターをもちいて粒子を堆積させた。慣性インパクターはガスの流れを利用し粒子を堆積基盤に慣性衝突させるものであり、重い粒子が優先的に捕集される。堆積物はナノ粒子ではなく、球状のサブミクロン粒子であった。サブミクロン粒子の粒径分布とナノ粒子ではなくサブミクロン粒子が堆積した理由について報告する。

要約(英語): It is well known that nano-sized particles are formed by laser ablation in a background gas. We deposited particles formed by laser ablation by inertial impactor. The inertial impactor is a method to collide particles, which moves on the gas flow, on the substrate. The heavier particles are preferentially deposited due to the large inertia. The deposits are not nano particles but spherical submicron-sized particles. We report on the size distribution of spherical submicron particles and the reason for the deposition of spherical submicron particles.

本誌: 2021年11月30日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 39-43 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,107 Kバイト