熱的・反応論的非平衡を考慮したループ型Ar/O2誘導熱プラズマモデルによる基板上O原子密度解析

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP21108

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2021/11/28

タイトル(英語): Calculation of Oxygen Atoms on the Substrate by Thermally and Chemically Non-Equilibrium Model for Ar/O2 Loop Type of Inductively Coupled Thermal Plasmas

著者名: 杉山 祐樹(金沢大学),原 弘也(金沢大学),田中 康規(金沢大学),中野 裕介(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),幸本 徹哉(シー・ヴィ・リサーチ),川浦 廣(シー・ヴィ・リサーチ)

著者名(英語): Yuki Sugiyama(Kanazawa University),Hiroya Hara(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University),Tastuo Ishijima(Kanazawa University),Testuya Yukimoto(CV Research),Hiroshi Kawaura(CV Research)

キーワード: ループ型Ａｒ／Ｏ２￢誘導熱プラズマ|大面積処理|熱的・反応論的非平衡|重粒子温度|電子温度|酸素原子ラジカルの数密度|Ar/O2 loop type of induction thermal plasmas|large-area surface modification|thermal and kinetic non-equilibrium dissociation|heavy particle temperature|electron temperature|number of oxygen atom

要約(日本語): 本報告では，ループ型Ar/O2￢誘導熱プラズマ(Loop-ICTP)の三次元電磁熱流体解析の結果を記述する。Loop-ICTP 装置は，誘導熱プラズマによる基板の大面積処理を行うために，我々が独自開発したものである。本モデルにおいて，酸素分子および酸素原子の熱的・反応論的非平衡を新たに考慮し，重粒子温度や電子温度，酸素原子ラジカルの数密度の計算を行った。また，得られた計算結果を用いて酸素原子放射強度の比較をすることで妥当性の評価を検討した。

要約(英語): This paper describes the calculation results of Ar/O2 loop type of induction thermal plasmas (Loop-ICTP) using the developed three-dimensional thermofluid two-temperature chemically non-equilibrium model. The Loop-ICTP torch has originally been developed for large-area surface modification of materials. The developed model calculated the heavy particle temperature, the electron temperature and the number densities of oxygen molecules, oxygen atoms and argon ions considering thermal and kinetic non-equilibrium dissociation of oxygen molecules.In addition, comparison was made to estimate the validity of the model between the calculated emission coefficient distribution and the measured radiation intensity from an oxygen atomic line. Result showed good agreement between them in terms of the distribution.

本誌: 2021年12月1日放電・プラズマ・パルスパワー研究会

本誌掲載ページ: 1-6 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,452 Kバイト