XeClエキシマレーザによるポリイミドの炭素化メカニズム

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: LAV21013

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 光応用・視覚研究会

発行日: 2021/11/30

タイトル(英語): Carbonization mechanism of polyimide irradiated by XeCl excimer laser

著者名: 山之内 一皓(大阪産業大学),橋田 昌樹(東海大学),草場 光博(大阪産業大学)

著者名(英語): Kazuhiro Yamanouchi(Osaka Sangyo University),Masaki Hashida(Tokai University),Mitsuhiro Kusaba(Osaka Sangyo University)

キーワード: 炭素化|ポリイミド|エキシマレーザ|熱的過程|carbonization|polyimide|excimer laser|thermal process

要約(日本語): XeClエキシマレーザー照射によるポリイミドの炭素化の実験により、レーザーの蓄熱効果がポリイミドの炭素化に寄与していることが分かった。レーザー照射するとポリイミドからCO、CO2とH2が生成されることが知られていることから、熱的なメカニズムによりススが形成されると考えられる。

要約(英語): Carbonization of poluimide was induced by XeCl excimer laser irradiation. It was found that the heat storage effect of laser irradiation contributed to the carbonization. Therefore, it is considered that soot is formed in the thermal process.

本誌: 2021年12月3日光応用・視覚研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 984 Kバイト