SnO2薄膜のキャリア密度及び膜厚とガス感度の関係

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS21030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2021/12/07

タイトル(英語): Gas sensitivity of SnO2 thin films related to carrier density and film thickness

著者名: 西科 直哉(千葉工業大学),安藤 毅(千葉工業大学)

著者名(英語): Naoya Nishina(Chiba Institute of Technology),Ki Ando(Chiba Institute of Technology)

キーワード: ガスセンサ|酸化錫（ＳｎＯ２）|電子密度|水素（Ｈ２）センサ|ガス感度|Gas sensor|Tin dioxide (SnO2)|Electron densities|Hydrogen(H2) sensor|Gas sensitivity

要約(日本語): 本報告では、同程度の電子密度を有した膜厚の異なるSnO2薄膜を超高真空マグネトロンスパッタにより作製した。これらの薄膜についてH2ガスに対する感度特性を評価し、SnO2薄膜内のキャリア量とガス感度の関係を実験的に解明する。これより、簡易的なデバイス構造においてもppbレベルのガス濃度を検知するガスセンサの作製を目指す。

要約(英語): In this report, tin dioxide（SnO2）films of different thicknesses with similar electron densities are deposited by UHV magnetron sputtering. The sensitivity of these films to H2 gas is evaluated and the relationship between the number of carriers in the SnO2 film and the gas sensitivity is experimentally investigated. The aim is to fabricate a gas sensor that can detect ppb-level gas concentrations in a simple device structure.

本誌: 2021年12月10日ケミカルセンサ研究会

本誌掲載ページ: 5-7 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,293 Kバイト