カルマンフィルタを用いた正弦波エンコーダの位置検出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MEC21016

グループ名: 【D】産業応用部門 メカトロニクス制御研究会

発行日: 2021/12/08

タイトル(英語): Position detection method for sinusoidal encoders using Kalman filter

著者名: 上田 伸治(足利大学)

著者名(英語): Shinji Ueda(Ashikaga University)

要約(日本語): レーザ穴あけ機や半導体露光装置では高精度な位置制御が求められている．位置センサにはエンコーダを使用しており，パルスカウンタ値と逆正接値から高精度な位置を検出している．一方，カウンタ値と逆正接値の時間タイミングを同期させる必要があり，汎用マイコン基板で処理することが難しい．本研究ではエンコーダの逆正接値とカルマンフィルタの予測位置から高精度な位置検出を行う手法を提案する．

要約(英語): In laser drilling machine and semiconductor lithography equipment, the position sensor use a sinusoidal encoder for highly accurate position control. The position is detected with high accuracy from the pulse counter value and the arctangent value. However, it is necessary to synchronize the two values, which makes it difficult to process with a general-purpose microcomputer board. In this study, we propose a method for highly accurate position detection from the arctangent value of the encoder and the predicted position using Kalman filter. The effectiveness of the proposed method is shown by simulation.

本誌: 2021年12月11日メカトロニクス制御研究会

本誌掲載ページ: 31-36 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 647 Kバイト