FIB-SEM によるエポキシ樹脂ナノコンポジットの 3D 再構築

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI21099

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2021/12/17

タイトル(英語): 3D reconstruction of epoxy nanocomposites observed by FIB-SEM

著者名: 田河 和真(名古屋大学),栗本 宗明(名古屋大学),吉田 成是(三菱電機),梅本 貴弘(三菱電機),馬渕 貴裕(三菱電機),武藤 浩隆(三菱電機)

著者名(英語): Kazuma Tagawa(Nagoya University),Muneaki Kurimoto(Nagoya University),Shigeyuki Yoshida(Mitsubishi Electric),Tagahiro Umemoto(Mitsubishi Electric),Takahiro Mabuchi(Mitsubishi Electric),Hirotaka Muto(Mitsubishi Electric)

キーワード: ＦＩＢ|ＳＥＭ|ナノコンポジット|粒度分布|２次元断面|３次元空間|FIB|SEM|Nanocomposite|Particle size distribution|2D cross section|3D space

要約(日本語): ナノコンポジットの分散状態の評価にSEM画像が使われている。しかし、SEMで観察した2次元断面の粒度分布と実際の3次元空間の粒度分布との関係は十分に検証されていない。本検討では、エポキシ樹脂ナノコンポジットの3Dモデルを複数枚のSEM画像から再構築した。その3Dモデルから3次元空間の粒度分布を抽出した。それをSEM画像から抽出した2次元断面の粒度分布と比較したので報告する。

要約(英語): SEM images are used to evaluate the particle dispersion states of nanocomposites. However, the difference of the particle size distribution between the two-dimensional cross section observed by SEM and the actual three-dimensional space has not been sufficiently investigated. In this study, the 3D model of epoxy nanocomposite was reconstructed from multiple SEM images. The particle size distribution in the three-dimensional space was analyzed from the 3D model. It is compared with the particle size distribution of the two-dimensional cross section analyzed from the SEM image.

本誌: 2021年12月20日誘電・絶縁材料研究会

本誌掲載ページ: 53-57 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 738 Kバイト