永久磁石の微細加工・微細着磁技術の開発とそのデバイス応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG21145

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2021/12/20

タイトル(英語): Development of micro fabrication and micro magnetization technology for permanent magnets and its device application

著者名: 進士　 忠彦(東京工業大学　科学技術創成研究院　未来産業技術研究所)

著者名(英語): Tadahiko Shinshi(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 永久磁石|微細加工|微細着磁|アクチュエータ|デバイス|ＭＥＭＳ|Permanent magnet|micro fabrication|micro magnetization|actuator|device|MEMS

要約(日本語): 磁気MEMSアクチュエータやハーベスターの実現のため，薄膜や厚膜ネオジム磁石の微細加工や，レーザアシスト加熱を用いた微細着磁技術を開発している．発表では，実際に試作した，マイクロリニアモータ，マイクロモータなどの機構や製作方法を紹介する．

要約(英語): The development of microfabrication and micromagnetization technology for permanent magnets and their device applications will be explained. In particular, I will focus on microfabrication technology using thin film and thick film magnets and micromagnetization technology using laser-assisted heating.

本誌: 2021年12月23日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,219 Kバイト