細胞体モデルを用いたMEMS静電センサの容量検出回路に対する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT21068

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2021/12/20

タイトル(英語): A study on Capacitance Detection Circuit of MEMS Electrostatic Sensor Using Cell Body Model

著者名: 榎澤 瑠奈(日本大学),石川 真聡(日本大学),伊藤 穂高(日本大学),山田 哲之(日本大学),加藤 真也(日本大学),森下 克幸(日本大学),武井 裕樹(日本大学),齊藤 健(日本大学)

著者名(英語): Runa Enosawa(Graduate School of Science and Technology, Nihon University),Masato Ishikawa(Graduate School of Science and Technology, Nihon University),Hotaka Ito(Graduate School of Science and Technology, Nihon University),Noriyuki Yamada(Graduate School

キーワード: 静電センサ|ＭＥＭＳ|マイクロロボット|ＨＳＰＩＣＥ|容量検出回路|Electrostatic sensor|MEMS|Microrobot|HSPICE|Cspacitance detection circuit

要約(日本語): 本論文では，細胞体モデルの膜容量にMEMS静電センサを並列接続した容量検出回路について検討した。HSPICEシミュレーションの結果，静電センサの静電容量変化に対して回路の出力周波数が約10kHz変化することを確認した。また，集積回路を使用した実測結果においても，コンデンサの値を変更することで容量検出回路の出力周波数が変化することを明らかにしたので報告する。

要約(英語): The paper investigates a capacitance detection circuit with a MEMS electrostatic sensor connected in parallel to the membrane capacitance of a cell body model. As a result of the HSPICE simulation, it was confirmed that the output frequency of the circuit changes about 10 kHz in response to the capacitance change of the electrostatic sensor. Also, the measured results using an integrated circuit showed that the output frequency of the capacitance detection circuit changed with the change of the value of the capacitor.

本誌: 2021年12月23日-2021年12月24日電子回路研究会

本誌掲載ページ: 15-18 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 941 Kバイト