TMR磁気センサの高性能化と生体磁場計測への応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG21160,MSS21064,BMS21049

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2021/12/21

タイトル(英語): Improvement of TMR sensors and its application to bio-magnetic field measurement

著者名: 大兼 幹彦(東北大学),藤原 耕輔(スピンセンシングファクトリー株式会社),中野 貴文(東北大学),熊谷 静似(スピンセンシングファクトリー株式会社),松﨑 斉(スピンセンシングファクトリー株式会社),安藤 康夫(東北大学)

著者名(英語): Mikihiko Oogane(Tohoku University),Kosuke Fujiwara(Spin Sensing Factory Corp.),Takafumi Nakano(Tohoku University),Seiji Kumagai(Spin Sensing Factory Corp.),Hitoshi Matsuzaki(Spin Sensing Factory Corp.),Yasuo Ando(Tohoku University)

キーワード: トンネル磁気抵抗効果|ＴＭＲセンサ|生体磁場|核磁気共鳴|Tunnel magneto-resistance|TMR sensors|Bio-magnetic field|NMR

要約(日本語): 強磁性トンネル接合 (Magnetic Tunnel Junction: MTJ) を用いたトンネル磁気抵抗センサ (TMRセンサ) は、量子力学的な効果を利用した、室温で動作可能な小型・低消費電力の磁気センサである。近年のTMRセンサの飛躍的な高感度化により、人体の電気的活動に起因する生体磁場を、室温下で計測する装置の実現に期待が高まっている。本講演では、TMRセンサの劇的な検出可能磁場の向上と、改善したTMRセンサを利用した生体磁場計測に関する結果を報告する。

要約(英語): The tunnel magneto-resistive sensors (TMR sensors) using magnetic tunnel junctions (MTJs) are compact, low power consumption magnetic sensors that can operate at room temperature by utilizing the quantum tunneling effect. Due to the dramatic increase in sensitivity of TMR sensors in recent years, the realization of devices that measure the bio-magnetic field at room temperature has been expected. In this talk, we will report the dramatic improvement in the detectivity of the TMR sensors and the results of bio-magnetic field measurement using the improved TMR sensors.

本誌: 2021年12月24日-2021年12月25日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 43-46 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 395 Kバイト