分子吸着検出のための金属多層膜応力センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG21168,MSS21072,BMS21057

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2021/12/21

タイトル(英語): Metal-Multilayered Stress Sensor for Detection of Molecular Adsorption

著者名: 大久保 潤(東北大学),戸田 雅也(東北大学),小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Jun Okubo(Tohoku University),Masaya Toda(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University)

キーワード: ＭＥＭＳ|吸着|応力センサ|MEMS|Adsorption|Stress sensor

要約(日本語): 本研究では、多層金属薄膜を有する分子吸着応力センサを開発し、その作製と評価を行った。センサ表面へのガス分子の吸着によって生じる表面応力の違いを共振周波数の変化から検出する。センサは微細加工技術を用いて作製し、作製したセンサのガスに対する応答計測を介してセンサの感度を実験的に評価した。多層金属薄膜を有するセンサによってガス分子の吸着応力を検知できることを示した。

要約(英語): In this study, a stress sensor of molecular adsorption with multilayered metal film was developed, fabricated and evaluated. The surface stress difference caused by the adsorption of gas molecules on the top and bottom metal surfaces is detected from the change in resonance frequency. The sensor was fabricated using microfabrication techniques, and the sensitivity of the sensor was experimentally evaluated by measuring the response of the fabricated sensor to gas. It was shown that the sensor with multilayered metal film can detect the adsorption stress of gas molecules.

本誌: 2021年12月24日-2021年12月25日マグネティックス/マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 83-86 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 856 Kバイト