Ag/Auバイメタルを用いたピクセル構造ガスセンサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS22003,BMS22008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2022/02/28

タイトル(英語): Pixel structure gas sensor using Ag/Au bimetal

著者名: 澤田 新(九州大学),佐々 文洋(九州大学),林 健司(九州大学),杉原 圭祐(九州大学)

著者名(英語): Arata Sawada(Kyushu University),Fumihiro Sassa(Kyushu University),Kenshi Hayashi(Kyushu University),Keisuke Sugihara(Kyushu University)

キーワード: 局在表面プラズモン共鳴|ガスセンサ|バイメタル|銀ナノ粒子|金ナノ粒子|LSPR|gas sensor|bimetal|AgNPs|AuNPs

要約(日本語): Ag薄膜上にAu薄膜を堆積させたAg/Auバイメタル薄膜はAg薄膜の厚さによってガスに対する応答が変化する。Agの厚さの異なるピクセル構造を持つAg/Au薄膜を作製し、ピクセル内のガス応答の違いを利用し、混合ガスの濃度の測定を行った。また、このピクセル構造を持つAg/Auバイメタルガスセンサを集積化することによって、混合ガスの濃度分布の測定を試みた。_x000D_ _x000D_ _x000D_

要約(英語): We fabricated Ag/Au bimetal thin film with different thickness of Ag film and measured the concentration of mixed gases by using the difference of gas response in the pixel structure. We also tried to measure the concentration distribution of the mixed gases by integrating the Ag/Au bimetal gas sensor with the pixel structure.

本誌: 2022年3月3日ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 9-12 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,259 Kバイト