部分空間法に基づく半導体式ガスセンサ応答の振動及びドリフト成分の推定

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS22004,BMS22009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2022/02/28

タイトル(英語): On estimation of vibration and drift components of a MOX sensor using the subspace-based identification method

著者名: 竹井 義法(金沢工業大学),長山 真也(金沢工業大学),平澤 一樹(金沢工業大学),南戸 秀仁(金沢工業大学)

著者名(英語): Yoshinori Takei(Kanazawa Institute of Technology),Masaya Nagayama(Kanazawa Institute of Technology),Kazuki Hirasawa(Kanazawa Institute of Technology),Hidehito Nanto(Kanazawa Institute of Technology)

キーワード: 半導体式ガスセンサ|応答解析|部分空間法|MOX sensor|Response analysis|Subspace method

要約(日本語): ロボット応用等，様々な応用が期待される半導体式ガスセンサについて，フロー系等の測定系で得られるステップ応答にはガス導入時のバルブ切り替えの影響で生じる振動的な応答や系の特性変動によるドリフトが生じることがある．本論文では，ガスおよびセンサ材料の組み合わせで決定される一次応答成分とは異なる測定系に起因する成分の推定を部分空間法に基づく信号解析手法によって検討した結果について報告する．

要約(英語): Step responses of MOX gas sensors obtained in a flow system could include a vibrational component caused by the effect of valve switching at the time of gas introduction and drift due to system characteristic varied. In this paper, we investigate the estimation of the components caused by the measurement system different from the dominant response component determined by the combination of gas and sensor material, and we will show the results of the estimates obtained by using the subspace method.

本誌: 2022年3月3日ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 13-15 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,081 Kバイト