バイオセンサ・触覚センサ応用に向けたカンチレバーアレイチップの設計と試作評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER22034,MSS22006

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム合同研究会

発行日: 2022/02/28

タイトル(英語): Design and Prototyping of Cantilever-array Chip for Biological or Tactile Sensor

著者名: 水戸部 龍介(新潟大学),長谷川 拓海(新潟大学),高橋 悠矢(京都工芸繊維大学),紙谷 虎太郎(京都工芸繊維大学),安部 隆(新潟大学),野田 実(京都工芸繊維大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Ryusuke Mitobe(Niigata University),Takumi Hasegawa(Niigata University),Yuya Takahashi(Kyoto Institute of Technology),Kotaro Kamitani(Kyoto Institute of Technology),Takashi Abe(Niigata University),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology),Masayuki Sohgawa

キーワード: マイクロカンチレバー|メカニカルバイオセンサ|触覚センサ|アレイセンサ|マイクロ流路|多周波数特性|Microcantilever|Mechanical Biosensor|Tactile Sensor|Sensor Array|Microfluidics|Multi-frequency Characteristics

要約(日本語): 我々はこれまで、表面MEMSプロセスにより形成したカンチレバー構造を用いた、タンパク質との相互作用による応力検知を行うメカニカルバイオセンサや、エラストマに封止し接触荷重を検出する触覚センサの研究を行ってきた。本発表ではマイクロ流路を用いた集積アレイバイオセンサや多周波数特性を持つ触覚センサアレイへの応用を目的とし、カンチレバーを4×4配列したアレイセンサチップの設計と試作を行ったので報告する。

要約(英語): We have been developed mechanical biosensors that detect stress by interacting with proteins and tactile sensors that detect contact force using cantilever structures fabricated by surface MEMS process. In this work, the design and fabrication of a new prototype array sensor chip with a 4×4 array of cantilevers for application to integrated biosensor array using microfluidic channels and tactile sensor array with multi-frequency characteristics.

本誌: 2022年3月3日交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 25-29 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 916 Kバイト