ミストコート法を用いたMOD法によるBi置換希土類鉄ガーネット薄膜作製技術の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG22041

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2022/03/01

タイトル(英語): Development of Bi-substituted rare-earth iron garnet thin films fabrication technology by mist coating for Metal Organic Deposition Process.

著者名: 磯村 奎太郎(長岡技術科学大学),西川 雅美(長岡技術科学大学),河原 正美(（株）高純度化学研究所),荒川 亮(秋田県産業技術センター),森 英季(秋田県産業技術センター),石橋 隆幸(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Keitaro Isomura(Nagaoka University of Technology),Masami Nishikawa(Nagaoka University of Technology),Masami Kawahara(Kojundo Chemical Lab. Co., Ltd.),Ryo Arakawa(Akita Industrial Technology Center),Shigeki Mori(Akita Industrial Technology Center),Takayuki

キーワード: 有機金属分解法|ビスマス置換希土類鉄ガーネット|超音波霧化|ミストコート法|Metal organic deposition|Bismuth-substituted rare earth iron garnet|Ultrasonic atomization|Mist coating

要約(日本語): これまで我々は，有機金属分解（MOD）法を用いた高品質なBi置換希土類鉄ガーネット薄膜の作製技術の開発を行ってきた。しかし、塗布に用いるスピンコート法は、溶液の廃棄量が多く、任意形状の基材への塗布が困難という問題があった。そのため、効率的な塗布を目標として超音波霧化を用いたミストコート法を検討した。実験では、ミストコート法でガーネット薄膜を作製し、磁気光学効果を測定することで膜ムラを定量的に評価した。

要約(英語): We have been developing technology for producing high quality Bi-substituted rare earth iron garnet thin films by metal organic deposition (MOD) process. However, spin coating used for the MOD process has problems that most of solution is discarded and it is difficult to apply the solution to the substrates of arbitrary shape. In this research, we developed a coating technology using mist coating by ultrasonic atomization for the purpose of efficient coating. In the experiment, the garnet thin films were prepared by mist coating, and the garnet films quality were quantitatively evaluated by measuring the magneto-optical effect.

本誌: 2022年3月4日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 25-28 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,420 Kバイト