ミニマルファブを用いた多端子８角形SOI-MOSFETの試作と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: ECT22017

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子回路研究会

発行日: 2022/03/04

タイトル(英語): An Evaluation of Multi-Output Octagonal SOI-MOSFET Fabricated by Minimal-Fab

著者名: 原田 知親(山形大学)

著者名(英語): Tomochika Harada(Yamagata University)

キーワード: ＳＯＩ－ＭＯＳＦＥＴ|ミニマルファブ|多端子８角形ＭＯＳＦＥＴ|SOI-MOSFET|Minimal Fab|Multi-Output Octagonal MOSFET

要約(日本語): 本報告では、ミニマルファブを用いて多端子８角形SOI-MOSFETを試作し評価を行った。また、今後センサデバイスをミニマルファブで作る際に必要なデータとしていくつかMOSFETを試作したので、合わせて報告する。

要約(英語): In this report, a multi-output octagonal SOI- MOSFET is prototyped and evaluated using a minimal fab. In addition, we have prototyped several MOSFETs as data necessary for making sensor devices with minimal fabs in the future, so I will also report them.

本誌: 2022年3月7日-2022年3月8日電子回路研究会

本誌掲載ページ: 49-52 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,728 Kバイト