ArFエキシマレーザーを用いたシリコーンマイクロカップ構造の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD22007

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2022/03/25

タイトル(英語): Formation of silicone microcup structure using ArF excimer laser

著者名: 岩崎 楓(防衛大学校),吉田 剛(防衛大学校),大越 昌幸(防衛大学校)

著者名(英語): Kaede Iwasaki(National Defense Academy),Tsuyoshi Yoshida(National Defense Academy),Masayuki Okoshi(National Defense Academy)

キーワード: シリコーンマイクロカップ|ＡｒＦエキシマレーザー|光解離|イオン液体|Silicone microcup|ArF excimer laser|Photodissociation|Ionic liquid

要約(日本語): マイクロ/ナノコンテナの新しい形態として、波長193 nmのArFエキシマレーザーを用い、シリコーンゴム上に周期的な微細隆起構造とともにシリコーンマイクロカップを形成する手法を見出した。 形成されたマイクロカップの化学結合状態はシリコーンから成ることが認められた。 また走査電子顕微鏡下において、微量液体を個々のマイクロカップにトラップできることを実証した。

要約(英語): A new morphology for micro/nanocontainer, silicone microcup on periodic microswelling structure of silicone rubber, was fabricated by a 193-nm ArF excimer laser. The laser-irradiated silicone rubber underneath silica microspheres were periodically and photochemically swelled by the photodissociation of Si-O-Si bonds of silicone. A little later, lower molecular weight silicones which were generated by the photodissociation might be ejected from the microswelled silicone during laser irradiation along a curvature of each the microsphere. After removing the microspheres, the chemical bonding state was analyzed to be a silicone. Small amount of liquid could be trapped in the microcups under scanning electron microscope.

本誌: 2022年3月28日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 1-3 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 534 Kバイト