ビームの並列化と走査によるフェムト秒レーザー加工

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD22009

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2022/03/25

タイトル(英語): Femtosecond laser processing with beam parallelization and beam scanning

著者名: 田中 智就(宇都宮大学),中村 祐太(宇都宮大学),長谷川 智士(宇都宮大学),早崎 芳夫(宇都宮大学)

著者名(英語): Tomonari Tanaka(Utsunomiya University),Yuta Nakamura(Utsunomiya University),Satoshi Hasegawa(Utsunomiya University),Yoshio Hayasaki(Utsunomiya University)

キーワード: フェムト秒レーザー加工|計算機ホログラム|レーザー溝加工|空間光変調素子|femtosecond laser processing|computer generated hologram|laser grooving|spatial light modulator

要約(日本語): フェムト秒レーザーパルスをホログラムにより並列化し，それらを材料表面上で走査することにより，表面溝加工を行う．本加工法は，走査型並列ビーム法(SPB method: scanning parallel beams method)と呼ばれる．本研究では，プラスチック表面のV溝加工を対象として，並列ビーム走査法におけるビームパターンに対する加工特性を評価する．

要約(英語): Parallel femtosecond laser pulses formed by a computer-generated hologram are scanned on a surface of the target material for grooving. This is called as the scanning parallel beams (SPB) method. In this research, the V-shaped grooving on plastic surface was investigated by using the SPB method, and the processing performances for the beam parameters, especially, the beam patterns were estimated.

本誌: 2022年3月28日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 9-12 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,073 Kバイト