フェムト秒レーザーによるガラス表面周期構造形成過程の無反射特性を利用したインプロセスモニタリング

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD22011

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2022/03/25

タイトル(英語): In-process monitoring of periodic surface structure formation on glass with femtosecond laser pulses by using anti-reflection property

著者名: 長井 大輔(東京農工大学/産業技術総合研究所),高田 英行(産業技術総合研究所),奈良崎 愛子(産業技術総合研究所),宮地 悟代(東京農工大学)

著者名(英語): Daisuke Nagai(Tokyo University of Agruculture and Technology/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Hideyuki Takada(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Aiko Narazaki(National Institute of Advanced I

キーワード: フェムト秒レーザー加工|ガラス|ナノ周期構造|インプロセスモニタリング|femtosecond laser processing|glass materials|periodic nanostructure|in-process monitoring

要約(日本語): ガラス表面のフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造の形成過程を観測するため、サブ波長サイズの周期を有する構造によって発現する無反射特性を利用した光学的インプロセスモニタリング手法を構築した。合成石英基板表面への均一なナノ周期構造形成により、表面反射率が減少し、透過率が上昇することを確認できた。今後、本モニタリングを利用したフィードバック制御等により、ナノ周期構造形成の高品位化、大面積化を実現したい。

要約(英語): To observe formation process of femtosecond-laser-induced periodic nanostructures on glass materials, we developed an optical in-process monitoring configuration using the anti-reflection property, which is induced by nanostructures with a period smaller than wavelength. The experimental results showed that the periodic nanostructures on a synthetic quartz substrate formed with femtosecond laser pulses decrease reflectivity of the surface, as they increase the transmittance. This monitoring technique is useful for high quality and large area formation of periodic nanostructures on transparent materials.

本誌: 2022年3月28日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 19-23 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 7,867 Kバイト