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レーザー生成プラズマ極端紫外光源から発生する高速イオンのエネルギースペクトル

レーザー生成プラズマ極端紫外光源から発生する高速イオンのエネルギースペクトル

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カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP22060

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2022/05/15

タイトル(英語): Energy spectra of fast ions from a laser-produced plasma EUV source

著者名: 東口 武史(宇都宮大学),中山 勇冬(宇都宮大学),新沼 大登(宇都宮大学),久米 真樹(宇都宮大学),森田 大樹(宇都宮大学),砂原 淳(パデュー大学),富田 健太郎(北海道大学),江 偉華 (長岡技術科学大学),難波 慎一(広島大学),江島 丈雄(東北大学)

著者名(英語): Takeshi Higashiguchi(Utsunomioya University),Yuto Nakayama(Utsunomioya University),Takeru Niinuma(Utsunomioya University),Masaki Kume(Utsunomioya University),Hiroki Morita(Utsunomioya University),Atsushi Siunahara(Purdue University),Kentaro To0mita(Hokkai

キーワード: 極端紫外光源|高速イオン|レーザー生成プラズマ|EUV source|fast ion|laser-produced plasma

要約(日本語): レーザー生成プラズマEUV光源は多価イオンの再結合発光を利用しているが,同時に発生する高速イオンは第1捕集鏡にダメージを与え,反射率が低下する.したがって,高速イオンのエネルギースペクトルを評価し,モデリングすることが重要であり,高速イオンの価数分離エネルギースペクトルを詳細に観測することが必要である.本発表では,価数分離エネルギースペクトルとベンチマークについて報告する予定である.

要約(英語): We reported on the charge-separated energy spectra from a laser-produced plasma extreme ultraviolet (EUV) source. The charge states were observed to be 11 with a maximum energy of 13 keV. The laser intensity scaling was also shown using a simple energy balance model and compared with a hydrodynamic simulation.

本誌: 2022年5月18日-2022年5月20日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-3

本誌掲載ページ: 1-6 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,711 Kバイト

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