大流量Ar/CH4/H2変調誘導メゾプラズマによる単結晶ダイヤモンド成長に対する電力変調効果

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP22065

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2022/05/15

タイトル(英語): Power Modulation Effect on Single Crystal Diamond Growth using Ar/CH4/H2 Induction Meso-plasma with High Gas Flow Rate

著者名: 東 泰造(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),中野 裕介(金沢大学)

著者名(英語): Taizo Higashi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University)

キーワード: メゾプラズマ|誘導プラズマ|ダイヤモンド|気相蒸着法|電磁熱流体解析|局所熱平衡モデル|meso-plasma|induced plasma|diamond|vapor-phase deposition method|Electromagnetic Thermo-Fluid Analysis|Local thermal equilibrium model

要約(日本語): 大流量のガスを導入しながら，減圧状態を実現する装置改良を行い，大流量誘導メゾプラズマを実現した。この装置を用い，変調/無変調型誘導メゾプラズマ照射による単結晶ダイヤモンド成長を行った。変調型と無変調型に対してそれぞれ原料ガス流量依存性を検討し，変調の有無に対する実験結果の比較を行った。また，局所熱平衡モデルを用いた数値解析を行い，実験で用いた変調/無変調型誘導メゾプラズマを数値解析的に考察した。

要約(英語): The induction meso-plasma was realized by improving the apparatus to achieve pressure reduction while introducing a large gas flow. Single crystal diamond growth experiment was conducted using the power-modulated/unmodulated induction meso-plasma. The dependence of the flow rate of the source gas for the modulated and unmodulated induction meso-plasma was investigated, and these experimental results were compared between them. In addition, numerical thermofluid LTE simulation for the induction meso-plasma was carried out for the modulated/unmodulated induction meso-plasma to discuss the effect of power modulation.

本誌: 2022年5月18日-2022年5月20日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-3

本誌掲載ページ: 25-30 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,359 Kバイト