金属/ガラス複合ターゲットへのYAGレーザ照射による多周期積層磁性材料の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG22046,LD22029

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【D】産業応用部門 リニアドライブ合同研究会

発行日: 2022/05/30

タイトル(英語): Preparation of multi-layered magnetic materials using metal/glass composite targets ablated by YAG laser

著者名: 加来 響(長崎大学),松岡 諒(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Hibiki Kaku(Nagasaki University),Ryo Matsuoka(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: ＰＬＤ法|Ｆｅ－Ｃｏ|ガラス|多周期積層膜|粗粒子|微細構造|PLD method|Fe-Co|Glass|Multi-layered films|Large particles|Microstructure

要約(日本語): スッパタリング法により作製された積層構造を有する金属/セラミックスの磁性膜はすでに数多く報告されている。それらの積層周期は数10層以内であったのに対し，本研究では100層以上の多周期積層膜の作製を検討する。具体的には，PLD（Pulsed Laser Deposition）法を用い、金属とガラスを組み合わせた複合ターゲットを成膜時に回転させる方法を用いる。更に得られた試料の微細構造観察や磁気特性も報告する。

要約(英語): Preparation of metal/ceramic multilayered magnetic films using a sputtering method has been reported by many researchers. Although the number of layers was less than several tens, in the study we try to fabricate a magnetic film of 100 or more layers. Specifically, the usage of PLD (Pulsed Laser Deposition) method together with a rotated a glass/metal composite target was carried out. Furthermore, the microstructure observation and magnetic properties of the obtained samples are also reported.

本誌: 2022年6月2日-2022年6月3日マグネティックス/リニアドライブ合同研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,558 Kバイト