磁性薄膜スリットによる高周波駆動薄膜センサのインピーダンス整合に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG22049,LD22032

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス/【D】産業応用部門 リニアドライブ合同研究会

発行日: 2022/05/30

タイトル(英語): Considerations on Impedance Matching for Coplanar Line Type Thin Film Magnetic Field Sensor with narrow Slits

著者名: 坂本 雅弥(東北大学),鈴木 椋太(東北大学),石原 知弥(東北大学),本多 順一(東北大学),薮上 信(東北大学)

著者名(英語): Masaya Sakamoto(Tohoku University),Ryota Suzuki(Tohoku University),Tomoya Ishihara(Tohoku University),Junichi Honda(Tohoku University),Shin Yabukami(Tohoku University)

キーワード: 磁性薄膜スリット|インピーダンス整合　|高周波|コプレーナ型薄膜磁界センサ　|narrow slits|Impedance matching|High Frequency|coplanar line-type thin-film magnetic field sensor

要約(日本語): 著者らはこれまでアモルファスCoNbZr薄膜とSrTiO薄膜を組み合わせた直線コプレーナ線路構造の薄膜磁界センサを試作したが、インピーダンス不整合による反射が支配的であった。本報告では磁性薄膜スリットを設けた高周波駆動薄膜磁界センサにおけるインピーダンス整合について検討した。

要約(英語): Our group has proposed the coplanar line-type thin-film magnetic field sensor which was consist of amorphous CoNbZr and SrTiO thin films. However, the sensor has severe reflection because of impedance mismatch. In this paper, we considered the impedance matching for the sensor with the narrow slits.

本誌: 2022年6月2日-2022年6月3日マグネティックス/リニアドライブ合同研究会

本誌掲載ページ: 15-18 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,063 Kバイト