CMOS電位検出アレイを用いたガスセンサの基礎特性検証

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS22029

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Verification of basic characteristics of gas sensor using CMOS potential sensor array

著者名: 和田 武(豊橋技術科学大学),崔 容俊(豊橋技術科学大学),髙橋 一浩(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takeru Wada(toyohashi university of tecnology),Yong-Joon Choi(toyohashi university of tecnology),Kazuhiro Takahashi(toyohashi university of tecnology),Kazuaki Sawada(toyohashi university of tecnology),Toshihiko Noda(toyohashi university of tecnology)

キーワード: ガスセンサ|ＣＭＯＳセンサ|電位センサ|導電性高分子|マルチガス検出|gas censor|CMOS sensor|potentiometric sensor|Conductive polymer|Multi gas detection

要約(日本語): 呼気診断による健康管理、口臭・体臭チェック等の応用先へ適用する小型かつ安価な匂い計測手法が研究されている．本学では、電位センサ上にガスの吸着によって電気的特性の変化するにおい感応膜を塗布し、複数ガスの同定を目指している． 本研究では，におい感応膜3種をアンモニアに暴露し，ガス吸着による電位センサ出力変化を検証した．各センサ応答の違いから，感応膜の塗り分けによって複数ガスの同定が可能であることを示した．

要約(英語): A small and inexpensive odor measurement method is being researched for applications such as health management by breath diagnosis and halitosis / body odor check. At our university, we apply odor-sensitive membranes whose electrical characteristics change due to the adsorption of gas on the potentiometric sensor and aim to identify multiple gases. In this study, three types of odor-sensitive membranes were exposed to ammonia, and changes in potentiometric sensor output due to gas adsorption were verified. From the difference in the response of each sensor, it was shown that multiple gases can be identified by painting the sensitive membrane separately.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日ケミカルセンサ研究会

本誌掲載ページ: 45-49 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,291 Kバイト