マイクロミラー位置を設定するスタックカンチレバー停止板の設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): A design of stacked cantilever stopping plate to set micromirror position

著者名: 歸山 敏之(所属なし)

著者名(英語): Toshiyuki Kaeriyama(No belonging)

キーワード: 立体構造体|双安定光位相変調器|マイクロミラー|スタック片持ち梁停止板|バイアス電圧|復元力|superstructure |bi-stable Light Phase Modulator|micromirror|stacked cantilever stopping plate|bias voltage|restoring force

要約(日本語): 静電引力駆動の双安定光位相変調器の立体構造体の設計において、バイアス電圧を印加し可動マイクロミラー構造体ユニットに静電引力を発生させ、そのユニットを、上、または下のいずれかの方向に引き寄せ、その動きの先に設置した2枚構成のスタック片持ち梁停止板の先端で受け止め、静電引力が停止板からのしなり復元力とつり合う位置にそのユニットを静止させ、マイクロミラー位置を0.1um内の任意の値に設定する。

要約(英語): Stacked cantilever stopping plate of 2 pieces constitution is examined in regulating a position in height of micromirror driven by electrostatic attractive force. A restoring force acts in 2 steps from the plate opposes well to the electrostatic attractive force, and the position can be set to any value within the range of 0.1um.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 1-5 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,074 Kバイト