モアレメタレンズの位置合わせ及びレンズ間距離の制御方法の確立

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22027

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Establishing a method for alignment of moire metalens and control of the distance between lenses

著者名: 麻生 巧(東京農工大学),中村 宗太郎(東京農工大学),小川 主税(東京農工大学),岩見 健太郎(東京農工大学),池沢 聡(東京農工大学)

著者名(英語): Takumi Aso(Tokyo University of Agriculture and Technology),Sotaro Nakamura(Tokyo University of Agriculture and Technology),Chikara Ogawa(Tokyo University of Agriculture and Technology),Kentaro Iwami(Tokyo University of Agriculture and Technology),Satoshi

キーワード: 感光性接着剤|メタサーフェイス|メタレンズ|モアレメタレンズ|Photosensitive adhesives|Metasurface|Metalens|Moire metalens

要約(日本語): メタマテリアルを用いたメタレンズの使用により、光学製品の薄型化・小型化が期待されている。我々は、レンズ間の距離と位置を適切に保つために、光学顕微鏡を用いた位置合わせとスピンコート可能な感光性接着剤を用いた接合を組み合わせた接合方法を考案した。本研究では，モアレメタレンズを貼り付け，基板間隔2.8～3.3μm，誤差5～9μm，相対角度1.8°を達成した。また、焦点距離は-5.7～6.7mmで、7.13～16.00 lp/mmの解像度を示した。

要約(英語): The use of metamaterial-based meta-lenses is expected to make optical products thinner and smaller. We devised a bonding method that combines alignment using an optical microscope and bonding using a photosensitive adhesive that can be spin-coated to maintain distance between lens and lens position properly. In this study, we attached moire meta-lens and achieved 2.8-3.3 μm substrate spacing with an error of 5-9 μm and a relative angle of 1.8 degrees. Also, the attached moire meta-lens showed focal length tunability at the ranges between -5.7-6.7 mm and 7.13-16.00 lp/mm resolution.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 7-11 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,311 Kバイト