薄膜金属ガラス製静電容量形圧力センサの作製と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22041

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Fabrication and evaluation of capacitive pressure sensor using thin film metallic glass

著者名: 大塚 穂高(名古屋大学),二関 隆史(名古屋大学),岡 智絵美(名古屋大学),秦 誠一(名古屋大学),櫻井 淳平(名古屋大学)

著者名(英語): Hodaka Otsuka(Nagoya University),Takashi Ninoseki(Nagoya University),Chiemi Oka(Nagoya University),Seiichi Hata(Nagoya University),Junpei Sakurai(Nagoya University)

キーワード: 薄膜金属ガラス|静電容量形圧力センサ|ＭＥＭＳ|Thin film metallic glass|Capacitive pressure sensor|MEMS

要約(日本語): 静電容量形圧力センサの小形化のため，従来のダイアフラム材料のSiに変わる材料としてRu基薄膜金属ガラス製ダイアフラムを用いた圧力センサの作製を行った．その結果，□2.2 mm（ダイアフラム直径1.7 mm）の平坦化したダイアフラムを有する圧力センサの作製に成功した．0～500 Paの測定範囲で，直線性は±3.14%F.S，感度は，0.09fF/Paのセンサ性能を示した．

要約(英語): To miniaturize MEMS capacitive pressure sensor, we fabricated pressure sensor using Ru-based thin film metallic glass diaphragm, instead of Si one. Thus, we were succeeded in fabrication MEMS pressure sensor with flatten diaphragm structure. Sensor size was 2.2 mm square, and diameter of diaphragm was 1.7 mm. The performances of these sensors were linearity of ±3.14%F.S and sensitivity of 0.09 fF/Pa in the differential pressure range from 0 to 500 Pa.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 83-86 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 961 Kバイト