高周波BAWセンサに適した支持基板一体型水晶振動子の開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22042

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Development of quartz crystal resonator bonded to support substrate suitable for high frequency BAW sensors application

著者名: 安田 倉土(新潟大学大学院),佐谷 元(新潟大学大学院),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Kuraudo Yasuda(Graduate school of science and technology niigata university),Hajime Satani(Graduate school of science and technology niigata university),Masayuki Sohgawa(Niigata university / Graduate school of science and technology niigata university),Ta

キーワード: 水晶振動子|薄板|複合基板|ＡＴカット水晶|高周波デバイス|Quartz crystals resonator|Thin plate|Composite substrate| AT-cut crystal|RF devices

要約(日本語): 本研究では、高周波化・高感度化を目的とした水晶の薄板化に対応した支持基板一体型水晶振動子の開発を行った。支持基板に水晶板を接合させることによって、薄板化に伴う機械的強度低下の補強をすることができる。実際に作製し、支持基板に固定したATカット水晶板を高安定に発振させることに成功した。本研究成果の高感度なセンサや高周波デバイスへの応用が期待される。

要約(英語): In this study, we developed a quartz crystal resonator bonded to support substrate for higher frequency and sensitivity. By bonding the crystal plate to the support substrate, it is possible to reinforce the mechanical strength. The AT-cut crystal plate bonded to the support substrate was successfully oscillated with high stability. The application of this research to high-sensitivity sensors and high-frequency devices is expected.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 87-91 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,079 Kバイト