正・逆熱電効果を利用した薄膜デバイス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22043

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Thin-film devices utilizing the forward and reverse thermoelectric effect

著者名: 伊東 八重(豊田工業大学),佐々木 実(豊田工業大学)

著者名(英語): Yae Ito(Toyota Technological Institute),Minoru Sasaki(Toyota Technological Institute)

キーワード: 正・逆熱電効果|薄膜デバイス|マイクロヒータ|サーモパイル|スパッタリング|the forward and reverse thermoelectric effect|thin-film devices|micro-heater|thermopile|sputtering

要約(日本語): マイクロヒータの応用には，その温度を正確に制御できる方が有利である．例えば，DNA分子を増幅するポリメラーゼ連鎖反応PCRは，素早く何度も昇温・降温を繰り返す．しかし従来は，発熱部と温度測定部を別々に用意しているため，誤差の要因となっている．そこで本研究では，ポリイミドシート上に発熱部と温度測定部を一体化させたデザインのサーモパイルを形成することで，温度制御が高精度にできるデバイスを目指した．

要約(英語): For micro-heater applications, it is advantageous to be able to precisely control the temperature. For example, the polymerase chain reaction PCR, which amplifies DNA molecules, involves quickly repeating temperature increases and decreases. However, the conventional practice of preparing heaters and sensors separately has been a source of error. In this study, we designed a thermopile that integrates heaters and sensors on a polyimide sheet to create a device that can control temperature with high precision.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 93-96 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,079 Kバイト