Fe2O3を用いた高温環境用感湿材料の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22044

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Study of humidity-sensitive materials for high-temperature environments using Fe2O3

著者名: 内藤 光佑(金沢工業大学),佐々木 恭平(金沢工業大学),池永 訓昭(金沢工業大学)

著者名(英語): Kosuke Naito(Kanazawa Institute of Technology),Kyohei Sasaki(Kanazawa Institute of Technology),Noriaki Ikenaga(Kanazawa Institute of Technology)

キーワード: 蒸着成膜|高温環境|感湿材料|湿度センサ|薄膜|酸化鉄|Vapor deposition|High temperature environment|Moisture-sensitive materials|Humidity sensor|Thin film|Iron oxide

要約(日本語): 身近に使用されている湿度センサはそのほとんどが100℃以下での使用を想定した設計となっている。一方で、100℃以上の高温環境下での湿度計測の需要もあるが，その材料に関する報告例がほとんどない。そこで本研究では高温環境下における湿度センサの開発を目的として、その感湿材料の検討をおこなった。高温でも構造が変化しにくい酸化鉄に着目し、その結晶構造と感湿特性を確認した結果、α-Fe2O3結晶に感湿特性を確認した。

要約(英語): Most of the humidity sensors in use around us are designed for use at temperatures below 100°C. On the other hand, there is demand for humidity measurement in high-temperature environments of 100°C or higher, but there have been almost no reports on the materials used. Therefore, in this study, we investigated humidity-sensitive materials for the purpose of developing a humidity sensor for use in high-temperature environments. We focused on iron oxide, whose structure does not change easily even at high temperatures, and confirmed the humidity sensitivity of the α-Fe2O3.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 97-99 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 984 Kバイト