加工誤差への耐性を有する（100）単結晶シリコンリング型ジャイロの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22019,CHS22013,BMS22018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): (100) single crystal silicon ring gyroscope robust to fabrication error

著者名: 岡山 修也(京都大学),廣谷 潤(京都大学),バネルジー アミット(京都大学),土屋 智由(京都大学)

著者名(英語): Shuya Okayama(Kyoto University),Jun Hirotani(Kyoto University),Amit Banerjee(Kyoto University),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University)

キーワード: 振動ジャイロスコープ|ＭＥＭＳ|リング型振動子|ワイングラス振動モード|（１００）単結晶シリコン|モードマッチング|vibratory gyroscope|MEMS|ring resonator|wineglass mode|(100) single crystal silicon|mode matching

要約(日本語): "ジャイロスコープ（以下ジャイロ）は角速度を検出するセンサで、IoT技術の普及により低価格な小型ジャイロの開発が期待されている。本研究では、より低価格かつ高性能なジャイロを開発するために、(100)単結晶シリコンを材料としてMEMSリング型振動ジャイロを作製している。本報告では、(100)単結晶シリコンリング型ジャイロの問題点である加工誤差によるジャイロの性能低下を改善するためのデザインについて報告する。_x000D_ "

要約(英語): This paper addresses a MEMS vibratory ring gyroscope fabricated from (100) single crystal silicon. IoT society demands small-size, low-cost and high-performance gyroscopes. In our previous study, MEMS vibratory ring gyroscope was developed using (100) single crystal silicon in order to realize low cost and high performance, but the performance of the gyroscope was limited because of its poor robustness against fabrication errors. In this study, we proposed a new design of ring resonator which is less affected by fabrication errors of the structure’s width and misorientation in patterning. The mode analysis indicates mode mismatch of the design remains low regardless of fabrication errors.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 27-30 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,368 Kバイト