フレキシブルMEMS触覚ディスプレイを目指したアレイ状SMA厚膜アクチュエータと個別通電用有機ダイオード素子の形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22020,CHS22014,BMS22019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2022/06/04

タイトル(英語): Fabrication of arrayed SMA thick-film actuator and individually driving organic diode elements for flexible MEMS tactile display

著者名: 天野 晏年(山形大学大学院),齋藤 涼(山形大学大学院),山田 将也(山形大学大学院),松井 弘之(山形大学大学院),峯田 貴(山形大学大学院)

著者名(英語): Haruto Amano(Yamagata University),Ryo Saito(Yamagata University),Masaya Yamada(Yamagata University),Hiroyuki Matsui(Yamagata University),Takashi Mineta(Yamagata University)

キーワード: 触覚ディスプレイ|形状記憶合金|ＭＥＭＳ|マトリックス配線|有機半導体|個別駆動|tactile display|shape memory alloy|MEMS|matrix wiring|organic semiconductor|individual drive

要約(日本語): フレキシブルMEMS触覚ディスプレイの要素技術として、ＳＭＡ厚膜アクチュエータと個別駆動のための有機ダイオードの形成に取り組んだ。アクチュエータ層は、Cu基板上にＳＭＡフラッシュ蒸着厚膜(7m)、絶縁膜、Pt薄膜配線により良好に形成することができた。有機ダイオード層は、ガラス基板上にAu膜とAl膜の電極間に塗布型有機半導体膜と層間絶縁膜を形成するプロセスを確立し、SMAの個別駆動に適する素子形成を可能にした。

要約(英語): As basic technologies of a flexible MEMS tactile display, arrayed SMA thick-film actuators and organic diode elements for individual driving were fabricated. The actuator layer was successfully formed with SMA flash-evaporated thick film (7m), insulating film, and Pt thin film circuits on Cu substrate. For the organic diode layer, fabrication processes such as spin-coating of organic semiconductor film, patterning of Au and Al thin film electrodes, and interlayer insulator forming on a glass substrate was established. An organic diode array devices was obtained with suitable diode properties for individual driving the SMA actuator.

本誌: 2022年6月7日-2022年6月8日マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 31-34 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,650 Kバイト