大気圧非熱平衡プラズマにおけるプラズマ電圧とインピーダンスの導出

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP22080,SA22047,SP22015

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー/【B】電力・エネルギー部門 静止器/【B】電力・エネルギー部門 開閉保護合同研究会

発行日: 2022/07/17

タイトル(英語): Derivation of Plasma Potential and Impedance in Atmospheric Pressure Non-Thermal-Equilibrium Plasma

著者名: 石澤 尚将(新潟大学),横山 優作(新潟大学),山家 清之(新潟大学)

著者名(英語): Naomasa Ishizawa(Niigata University),Yusaku Yokoyama(Niigata University),Kiyoyuki Yambe(Niigata University)

キーワード: プラズマ電圧|プラズマ電流|プラズマインピーダンス|電気回路|Plasma Potential|Plasma Current|Plasma Impedance|Electric Circuit

要約(日本語): プラズマ応用において、プラズマ照射が行われる場合、照射対象物は安全性を確保するため接地される必要がある。しかし、プラズマ電圧の導出方法が確立されていないため、接地しての照射処理を行う際に流れる過電流を防止するための適切な保護抵抗を選定することができていない。そこで本研究では、プラズマ電圧の導出方法を提案するとともに、導出したプラズマ電圧とプラズマ電流を基にプラズマのインピーダンスを導出した。

要約(英語): In plasma application,the object with irradiated plasma is grounded for safety. It is necessary to connect a protection resistance corresponding to the plasma potential to the grounded line. Since the derivation method for plasma potential has not been established,the protection resistance for controlling the plasma current has not been selected.The derivation method for plasma potential is investicated and the plasma impedance is estimated from the relationship between plasma potential and current.

本誌: 2022年7月20日-2022年7月21日放電・プラズマ・パルスパワー/静止器/開閉保護合同研究会-2

本誌掲載ページ: 7-11 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 846 Kバイト