希土類リッチな2-14-1系厚膜磁石の結晶構造形成と硬磁気特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG22081

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2022/08/01

タイトル(英語): Crystallization process and hard magnetic properties in 2-14-1 thick film magnets with rare-earth rich composition

著者名: 福田 樹(長崎大学),樋口 晃太(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Itsuki Fukuda(Nagasaki University),Kota Higuchi(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系磁石膜|Ｐｒ－Ｆｅ－Ｂ系磁石膜|結晶化過程|ＰＬＤ法|瞬時熱処理|Nd-Fe-B magnets|Pr-Fe-B magnets|crystallization process|PLD method|Flush annealing

要約(日本語): MEMSデバイスへの応用が期待される2-14-1系磁石膜は，現状、硬磁気特性を得るために基板加熱やポストアニーリングによる熱処理工程が必要であるものの，将来的な有機材料基板などの利用も鑑みると，室温もしくは200 ℃以下の低温での作製が望まれる。本研究では，代表的な2-14-1系であるNd-Fe-B系ならびに Pr-Fe-B系の「結晶化初期過程における磁気特性と結晶構造の比較・検討」を通じ，低温プロセスによる2-14-1系磁石薄膜の作製にかんする基礎的な知見の獲得を検討した。

要約(英語): We have confirmed that Nd or Pr rich compsotion compared to stoichiometry one is effective to increase coercivity in isotropic (Nd or Pr)-Fe-B thick-film magnets applied to miniaturized devices. This contribution reports the role of melting point of two elements (Nd, Pr) in the annealing process after the deposition in order to investigate the relationship between 2-14-1 phase formation and annealing conditions.

本誌: 2022年8月4日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 13-16 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,001 Kバイト