無電解めっき法を用いて非導電性基板へ成膜したFe-Ni膜の高周波特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MAG22067

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 マグネティックス研究会

発行日: 2022/08/05

タイトル(英語): High frequency properties of Fe-Ni films deposited on a non-conductive substrate prepared by an electroless plating method

著者名: 塩川 諒(長崎大学),日高 勇祐(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Ryo Shiokawa(Nagasaki University),Yusuke Hidaka(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: 無電解めっき法|Ｆｅ－Ｎｉ|高周波特性|軟磁性材料|ポリイミド|Electroless planting|Fe-Ni|High frequency properties|Soft magnetics material|polyimide

要約(日本語): 近年，インバータ技術の進展に伴い，機器の駆動周波数が増加傾向にある。金属軟磁性材料は飽和磁束密度が高く，優れた軟磁気特性を示すが，電気抵抗率が低いため，高周波下で用いる際，板厚の低減などうず電流損失への対策が必要となる。本研究室ではこれまでに無電解めっき法を用いたミクロン厚のFe-Ni膜を報告してきた。本稿では，非導電性基板に成膜したFe-Ni膜の高周波特性に関する検討を行ったのでその結果を報告する。

要約(英語): In recent years, the driving frequency of electric equipment has tended to increase with the development of inverter-circuit technologies. Although metallic soft magnetic materials used in the equipment have excellent soft magnetic properties, it is difficult to increase the driving frequency due to a dramatic increase in the eddy current loss of the materials. We have reported some film-shaped soft magnetic materials prepared by wet-process to reduce the eddy current loss. In the present study, we prepared Fe-Ni films using the electroless deposition method and investigated the high-frequency properties of the films deposited on non-conductive substrates (Polyimide sheet). We could obtain Fe-Ni thin films with a thickness of fewer than 5 μm on PI(Polyimide) substrate, and the surface roughness increased with increasing the thickness. From the evaluation of ac magnetic properties, we confirmed the coercivity slightly increased with increasing frequency, whereas rapid increase for the films deposited on the Cu substrate. This result suggests that the thin films deposited on the PI substrate are attractive for high-frequency applications.

本誌: 2022年8月8日-2022年8月9日マグネティックス研究会

本誌掲載ページ: 15-18 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 735 Kバイト