バイオマーカーのオンチップ計測に向けたグラフェン型表面応力センサによる電気的分子検出の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS22045,BMS22034

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム/【E】センサ・マイクロマシン部門 バイオ・マイクロシステム合同研究会

発行日: 2022/08/15

タイトル(英語): Investigation on detection of electrical molecules by graphene-type surface stress sensors for on-chip measurement of biomarkers

著者名: 新野 謙(豊橋技術科学大学),古澤 絵里子(豊橋技術科学大学),前田 智也(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),赤井 大輔(豊橋技術科学大学),野田 佳子(豊橋技術科学),容俊 崔(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ken Arano(Toyohashi University of Technology ),Eriko Furusawa(Toyohashi University of Technology ),Tomoya Maeda(Toyohashi University of Technology ),Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology),Daisuke Akai(Toyohashi University of Technology),Yoshi

キーワード: グラフェン|光干渉|表面応力|ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ|バイオセンサ　|Graphene|Optical interference|Surface stress sensor|CMOS-MEMS|Biosensor

要約(日本語): 非標識に生体分子を検出する小型センサとして、グラフェン型表面応力センサを提案している。可動膜であるグラフェン下部にフォトダイオードを集積化することで、膜の変形による透過光の変化を測定し、電気的に分子検出できると考えられる。先行研究では、検出回路上において架橋構造の形成に成功した。本研究では、Si基板上の架橋グラフェンと検出回路を用いて、膜の変化による反射光の変化を測定しオンチップ検出の可能性を示した。

要約(英語): As a small sensor that detects biomolecules unlabeled, a graphene-based surface stress sensor has been proposed. By using a photodiode under suspended graphene, it is considered that changes in transmitted light due to deformation of the suspended graphene can be measured, leading to detection of molecules electrically. In the previous research, we succeeded in forming a suspended structure on the detection circuit. In this study, using suspended graphene on a Si substrate and a detection circuit, we measured the change in reflected light caused by membrane deflection and showed the possibility of on-chip detection.

本誌: 2022年8月18日マイクロマシン・センサシステム/バイオ・マイクロシステム合同研究会

本誌掲載ページ: 1-4 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,183 Kバイト