超電導コイル利用の超電導磁気軸受を用いた浮上テーブルおよび搬送装置の評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: IM22029

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 計測研究会

発行日: 2022/11/22

タイトル(英語): Evaluation of levitation table and transport equipment using superconducting magnetic bearings using superconducting coils

著者名: 董 沿伯(九州工業大学),小森 望充(九州工業大学),浅海 賢一(九州工業大学)

著者名(英語): YANBO DONG(Kyushu Institute of Technology),mochimitsu komiri(Kyushu Institute of Technology),kenichi asami(Kyushu Institute of Technology)

キーワード: 超電導バルク|超電導コイル|磁気軸受|搬送装置|永久磁石|ウェハ|superconducting bulk|superconducting coil|magnetic bearing|Conveyor|permanent magnet|wafer

要約(日本語): 本研究は超電導を使って磁気軸受でウエハを搬送することである。接触がないので、振動を抑えることができる。水平方向と垂直方向を考えて超電導コイルと超電導バルクを使って新しい超電導磁気軸受の構造を提案した。二つ磁気軸受の特性を評価して、搬送装置を作って評価を行っていく。

要約(英語): This research is to transport wafers with magnetic bearings using superconductivity. Since there is no contact, vibration can be suppressed. A new superconducting magnetic bearing structure is proposed by using superconducting coils and superconducting bulk considering horizontal and vertical directions. After evaluating the characteristics of the two magnetic bearings, we will make a transport device and evaluate it.

本誌: 2022年11月25日計測研究会

本誌掲載ページ: 67-69 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,895 Kバイト