大面積均一化YBCO超伝導エピタキシャル薄膜の作製技術開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: DEI23017

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 誘電・絶縁材料研究会

発行日: 2023/01/15

タイトル(英語): Development of technology for fabrication of large-area homogenized YBCO superconducting epitaxial thin films

著者名: 石塚 敬太(愛知工業大学),清家 義之(愛知工業大学),森 竜雄(愛知工業大学),一野 祐亮(愛知工業大学)

著者名(英語): Keita Ishizuka(Aichi Institute of Technology),Yoshiyuki Seike(Aichi Institute of Technology),Tastuo Mori(Aichi Institute of Technology),Yusuke Ichino(Aichi Institute of Technology)

キーワード: 超伝導|ＰＬＤ|ＹＢＣＯ|エピタキシャル薄膜|成膜技術|超伝導線材|superconductivity|PLD|YBCO|epitaxial thin film|film deposition technology|superconducting wire

要約(日本語): YBCO超伝導体は安価な液体窒素で超伝導転移するため様々な電力機器への応用が期待されている。この線材の臨界電流を大きくするためにエピタキシャル成長を利用し結晶方位を揃える必要がある。またYBCOエピタキシャル膜の作製に用いられているPLD法は大面積の作製が難しいという問題がある。本研究では大面積成膜により起こる、ターゲットの法線を傾けることにより起こる組成や膜厚のズレを調整することを目的とした。

要約(英語): YBCO superconducting wires are expected to be applied to various power devices because of their superconducting transition in inexpensive liquid nitrogen. To increase the critical current, it is necessary to align the crystal orientation using epitaxial growth technique. Furthermore, the PLD method mainly used to fabricate YBCO epitaxial films has the problem that it is difficult to fabricate large-area YBCO films. This study elucidates an effect of tilting the target during the deposition on the distribution of the composition and film thickness.

本誌: 2023年1月18日-2023年1月19日誘電・絶縁材料研究会

本誌掲載ページ: 61-63 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 909 Kバイト