非接触精密位置決めステージ高加速度駆動のための横磁束形リニア同期モータの設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: TER23023,LD23023

グループ名: 【D】産業応用部門 交通・電気鉄道/【D】産業応用部門 リニアドライブ合同研究会

発行日: 2023/01/23

タイトル(英語): Design of a Transverse Flux Type Linear Synchronous Motor for High Acceleration Drive of a Non-contact Precision Positioning Stage

著者名: 片山 真守(東京大学),古関 隆章(東京大学),大西 亘(東京大学),坂田 晃一(株式会社 ニコン),金 弘中(株式会社 コベリ)

著者名(英語): Mamoru Katayama(The University of Tokyo),Takafumi Koseki(The University of Tokyo),Wataru Ohnishi(The University of Tokyo),Koichi Sakata(Nikon Corporation),Houng-Joong Kim(KOVERY Corporation)

キーワード: 精密位置決め|リニア同期モータ|横磁束形モータ|高加速度駆動|非接触|Precision positioning|Linear synchronous motor|Transverse flux-type motor|High-acceleration driving|Contactless

要約(日本語): リニアモータは非接触駆動を実現できることから, 精密位置決めステージによく用いられている。精密位置決めには従来ではコアレスモータが用いられるが, 高加速度駆動を行うにはコア付きモータに置き換えるのが有効である。しかし, コア付きモータの生じる力の非線形性により、モータの再設計が必要である。本稿では, 既存の横磁束型同期モータについて電磁界解析を行った結果を報告する。

要約(英語): Linear motors are widely used for precision positioning stages because of their ability to provide non-contact drive. Core-equipped motors realise higher acceleration drive than coreless motors, which are conventionally used for precision positioning. However, due to the nonlinearity of the force generated by the core-equipped motor, the motor needs to be redesigned. In this paper, we report the results of electromagnetic field analysis of an existing transverse flux type synchronous motor.

本誌: 2023年1月26日-2023年1月27日交通・電気鉄道/リニアドライブ合同研究会-2

本誌掲載ページ: 11-15 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,578 Kバイト