圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの高精度制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT23030

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2023/02/01

タイトル(英語): High Precision Control for Piezo-Actuated Nano-Positioner

著者名: ジャン ビンヤン(芝浦工業大学),陳 新開(芝浦工業大学)

著者名(英語): BINGYANG JIANG(SHIBAURA INSTITUTE OF TECHNOLOGY),XINKAI CHEN(SHIBAURA INSTITUTE OF TECHNOLOGY)

キーワード: ヒステリシス特性|圧電アクチュエータ|適応制御|ＰＩモデル|ナノポジショナ|非線形|Hysteresis|Piezoelectric actuator|Adaptive control|Prandtl-Ishlinskii model|Nano-Positioning Applications|Nonlinearity

要約(日本語): 圧電アクチュエータは精密位置決め機構に用いられる。迅速な応答と高い発生力などの顕著な利点があり、ナノポジショニング用途に多く使用されている。しかし、圧電アクチュエータのヒステリシス非線形特性のため、圧電アクチュエータナノポジショナの高度な制御は困難である。本研究では圧電アクチュエータで駆動されるナノポジショナの高精度制御を実現するために、適応制御実験により提案手法の妥当性を検討する。

要約(英語): Piezoelectric actuators are used for precision positioning mechanisms. It has significant advantages such as fast response and high force generation, and is increasingly used in nano-positioning applications. However, due to the hysteresis nonlinearity of piezoelectric actuators, advanced control in piezoelectric actuated nano positioners is a challenging task.In this research, the discrete time adaptive control of piezoelectric actuator driven platform is studied. The experimental results show the effectiveness of this method.

本誌: 2023年2月4日-2023年2月5日制御研究会-2

本誌掲載ページ: 21-25 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,426 Kバイト