フェムト秒レーザによるガラス表面へのナノ周期構造の安定形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: OQD23013

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 光・量子デバイス研究会

発行日: 2023/03/25

タイトル(英語): Stable formation of periodic nanostructure on glass with femtosecond laser pulses

著者名: 長井 大輔(東京農工大学),高田 英行(産業技術総合研究所),奈良崎 愛子(産業技術総合研究所),宮地 悟代(東京農工大学)

著者名(英語): Daisuke Nagai(Tokyo University of Agriculture and Technology),Hideyuki Takada(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Aiko Narazaki(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),Godai Miyaji(Tokyo University o

キーワード: フェムト秒レーザ|レーザ誘起表面周期構造　（ＬＩＰＳＳ）|インプロセスモニタリング|安定形成|femtosecond laser|Laser-Induce Periodic Surface Structure (LIPSS)|In-process monitoring|stable formation

要約(日本語): 直線偏光のフェムト秒レーザを合成石英基板表面に集光照射すると、直線状のナノ周期構造が形成される。周期200nmで均一なナノ構造が形成されている部分では反射率は減少する一方、透過率は増加した。この結果を基にレーザパワーをフィードバック制御しながらレーザ照射したところ、均一なナノ構造を安定して形成することに成功した。

要約(英語): Femtosecond laser pulses can form periodic nanostructures on synthetic quartz. In the area where a uniform nanostructure was formed with a period of 200 nm, the reflectivity decreased, while the transmittance increased. Based on these results, laser irradiation with feedback control of laser power succeeded in stably forming uniform nanostructures.

本誌: 2023年3月28日光・量子デバイス研究会

本誌掲載ページ: 29-35 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 3,393 Kバイト