位相型回折格子を用いた光学式測距センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MZK23001

グループ名: 【D】産業応用部門 ものづくり研究会

発行日: 2023/03/26

タイトル(英語): A noncontact distance measurement sensor using a phase grating

著者名: 藤井 絵理(アズビル),古谷 雅(アズビル),藤原 久利(アズビル)

著者名(英語): Eri Fujii(Azbil Corporation),Masashi Furuya(Azbil Corporation),Hisatoshi Fujiwara(Azbil Corporation)

キーワード: 位相型回折格子|ラテラルシアリング干渉|解析信号|phase grating|lateral shearing interferometry|analytic signal

要約(日本語): 光学式非接触計測法の１つである三角測量法が持つ課題を解決できる測距センサの技術を開発した。本センサは，測定対象からの拡散反射光を位相型回折格子により2分岐させ，発生する干渉縞の空間周波数から測定対象までの距離を求める技術を用いており，曲面や凹みなど測定対象の形状に強いという特長を持つ。評価サンプルとして金属ピンゲージの形状を，三角測量法と今回開発した方法で測定し，実効性を確認した。

要約(英語): We developed a distance measurement sensor technique that solves some of the problems of the triangulation method of optical noncontact distance measurement. In this sensor, the diffuse reflection from the measured object is split into two by a phase grating and interference fringes are generated. From the interference fringe spatial frequency, the distance to the measured object is calculated.

本誌: 2023年3月29日ものづくり研究会

本誌掲載ページ: 1-6 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,202 Kバイト