コロナ放電による静電吸着粒子の脱離法の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP23023

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2023/06/05

タイトル(英語): Desorption Test of Electrostatically Adsorbed Particles by a Corona Discharge

著者名: 西塔 智哉(山形大学),杉本 俊之(山形大学)

著者名(英語): Tomoya Saito(Yamagata University),Toshiyuki Sugimoto(Yamagata University)

キーワード: 静電チャック|コロナ放電|コロナ帯電|絶縁性フィルム|electrostatic chuck|corona discharge|corona charge|insulating film

要約(日本語): 半径数mmの粉粒体を微量かつ定量でハンドリングする方法が提案されている。しかし1mmより小さい粒子の脱離が原理的に困難であった。本研究では絶縁被膜電極を用いる従来の静電チャック式電極系とコロナ帯電電極と絶縁フィルムを用いる新しい方法とを比較し，粒径600μmの粒子の吸着・脱離実験を行った。コロナ放電を用いることで従来の方法よりも脱離率を高めることができた。

要約(英語): A method for manipulating granules with a radius of a few millimeters has been proposed using the electrostatic chuck principle. However, smaller particles less than 1mm could never removed from the chucking electrode due to residual static charge. Desorption was possible even with a 600μm particles due to new method using corona discharge.

本誌: 2023年6月8日-2023年6月10日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-1

本誌掲載ページ: 35-36 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,026 Kバイト