ダイヤモンド成長用の減圧Ar/CH4/H2変調誘導熱プラズマに対する三角形状電力変調の影響の数値解析的検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP23031

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2023/06/05

タイトル(英語): Numerical study on effect of diamond growth using Ar/CH4/H2 induction thermal plasma with triangular power modulation at reduced pressures

著者名: 細井 大和(金沢大学),東 泰造(金沢大学),田中 康規(金沢大学),石島 達夫(金沢大学),中野 裕介(金沢大学)

著者名(英語): Yamato Hosoi(Kanazawa University),Taizo Higashi(Kanazawa University),Yasunori Tanaka(Kanazawa University),Tatsuo Ishijima(Kanazawa University),Yusuke Nakano(Kanazawa University)

キーワード: ダイヤモンド|熱プラズマ|変調|Diamond|Thermal Plasma|Power Modulation

要約(日本語): 筆者らは，独自開発した変調型誘導熱プラズマ(MITP)によるダイヤモンド膜の高速成長を検討している。MITP では基板に照射される熱流束・ラジカル粒子束を詳細に時間制御できる。本報告では，減圧下における熱プラズマ温度場・流速場・化学組成場とダイヤモンド膜成長に寄与しうるラジカル粒子束に対する入力電力波形依存性を電磁熱流体解析により検討した。

要約(英語): The influence of triangular modulated input power was numerically studied on temperature field and feedstock CH4/H2 gas transport in modulated induction thermal plasma (MITP) to find the suitable modulated input power waveforms for diamond film growth. Results indicated that the radical particle fluxes contributing diamond film growth on the substrate holder effectively increased by highly modulated input power waveforms.

本誌: 2023年6月8日-2023年6月10日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-2

本誌掲載ページ: 29-34 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,098 Kバイト