MOSゲートサイリスタを用いた大電流PFNの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EPP23046

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門 放電・プラズマ・パルスパワー研究会

発行日: 2023/06/05

タイトル(英語): Development of high-current PFN using MOS-gate thyristors

著者名: 石山 泰聖(長岡技術科学大学),賀 陽(長岡技術科学大学),須貝 太一(長岡技術科学大学),江 偉華(長岡技術科学大学),長尾 和樹(小山工業高等専門学校)

著者名(英語): Taisei Ishiyama(Nagaoka University of Technology),Yang He(Nagaoka University of Technology),Taichi Sugai(Nagaoka University of Technology),Weihua Jiang(Nagaoka University of Technology),Kazuki Nagao(National Institute of Technology, Oyama College)

キーワード: パルスパワー|パルスフォーミングネットワーク|サイリスタ|大電流|磁気アシスト|グロー放電|Pulse Power|Pulse Forming Networks|Thyristor|High Current|Magnetic Assist|Glow Discharge

要約(日本語): 半導体製造電力削減のための高品質パルスグロー放電発生電源の一部であるPFNを開発している。この回路には大電流が流れるため、スイッチング素子としてMOSゲートサイリスタを使用している。また、スイッチング時の損失を低減することを目的として磁気アシストを導入している。本研究では複数のPFNを並列接続することによる大電流化について検討したので報告する。

要約(英語): We are developing a PFN, which is part of a high-quality pulse glow discharge generator power supply for semiconductor manufacturing power reduction. Since large currents flow in this circuit, MOS-gate thyristors are used as switching elements. In addition, magnetic assist is introduced to reduce losses during switching. In this study, we report on our investigation of a high-current PFN by connecting multiple PFNs in parallel.

本誌: 2023年6月8日-2023年6月10日放電・プラズマ・パルスパワー研究会-3

本誌掲載ページ: 11-14 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,169 Kバイト