プラズモニックガスセンサ応答のプロセス条件に関する検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CHS23018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 ケミカルセンサ研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Investigation of process conditions for plasmonic gas sensor response

著者名: 熊副 慎悟(九州大学),松岡 真聖(九州大学),佐々 文洋(システム情報科学研究院),林 健司(システム情報科学研究院)

著者名(英語): shingo kumazoe(Graduate School and Faculty of Information Science and Electrical Engineering),masato matsuoka(Graduate School and Faculty of Information Science and Electrical Engineering),humihiro sassa(Faculty of Information Science and Electrical Engineering Division of Information Electronics),kenshi hayashi(Faculty of Information Science and Electrical Engineering, Department of Information Electronics)

キーワード: プラズモニックガスセンサ|ＬＳＰＲ|においセンサ|プラズモニックセンサ|ガスセンサ|Plasmonic gas sensor |LSPR|Odor Sensors|Plasmonic sensor |Gas sensor

要約(日本語): 金属ナノ粒子の作成方法を工夫することで、組成やサイズの異なる金属ナノ粒子を基板上に作製し、プラズモニックセンサのガス応答の変化を分析した。その結果、プロセス条件を変化させることで、ガス応答が変化することが確認でき、作成した複数の基板において分類することができるガスも異なることが分かった。このことから、複数の基板を同時に用いることで、多くのガスの種類を推定することが可能になると考えられる。

要約(英語): By devising a method for creating metal nanoparticles, we fabricated metal nanoparticles with different compositions and sizes on a substrate and analyzed changes in the gas response of the plasmonic sensor. As a result, it was confirmed that the gas response changed by changing the process conditions, and it was also found that the gases that could be classified were different on the multiple substrates that were created. This suggests that the simultaneous use of multiple substrates will make it possible to estimate the types of many gases.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日ケミカルセンサ研究会

本誌掲載ページ: 13-18 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,526 Kバイト