バタフライ形状を持つ圧電MEMS振動ハーベスタ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: MSS23021

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日: 2023/06/27

タイトル(英語): Piezoelectric MEMS vibration harvester with butterfly shape

著者名: 野村 明弘(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),横田 隆人(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Akihiro Nomura(University of Hyogo),Kensuke Kanda(University of Hyogo),Takahito Yokota(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: 振動|圧電|ＭＥＭＳ|エナジーハーベスタ|ＰＺＴ|vibration|piezoelectric|MEMS|energy harvester|PZT

要約(日本語): MEMS振動ハーベスタの出力増大は，複数のデバイスを組み合わせ，接続することで解決することができる。しかし，共振構造を持つ振動ハーベスタの出力は，交流出力の位相を合わせない限り，単純に直並列に接続することはできない。そこで本研究では，片持ちはり構造の２つの固定端同士を機械的に弱結合させ，同位相で振動させるバタフライ型を提案し，試作評価を行った結果，同位相で振動していることを確認した．

要約(英語): The output power of a MEMS vibration harvester can be increased by combining and connecting the outputs of multiple devices. However, it is not possible to simply connect the outputs unless the phases of the AC outputs are matched. In this study, we proposed a butterfly type harvester that mechanically weakly couples fixed ends of two cantilever beams and confirmed they vibrate in phase with each other, resulting in a doubling of output power.

本誌: 2023年6月30日-2023年7月1日マイクロマシン・センサシステム研究会

本誌掲載ページ: 5-8 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,819 Kバイト